SIGMAKOKI/西格瑪光機(jī)邁克爾遜干涉儀

邁克爾遜干涉儀 / IFS2-MI-25

這是測(cè)試樣品面精度的，最*用的干涉儀之一。利用反射鏡的2個(gè)垂直光路構(gòu)造是其最大的特點(diǎn)。

干涉條紋反映了2個(gè)反射鏡鏡面形狀的差異。

品名	型號(hào)	數(shù)量	光軸高度[mm]
激光組件	IFC2-L	1	171
空間濾波器組件	IFC2-SF	1	165
準(zhǔn)直鏡組件	IFC2-CL	1	160
反射鏡組件	IFC2-M	2	173
半透半反鏡組件	IFC2-BS	1	178
屏幕組件	IFC2-SC	1	222.5

SIGMAKOKI/西格瑪光機(jī)邁克爾遜干涉儀

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