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CKD喜開理 流量傳感器?控制器這是一款用于壓縮空氣和氮?dú)獾某⌒土髁總鞲衅鳌?/br>由于其重量輕和響應(yīng)速度快,因此非常適合檢查電子元件的吸附情況。工業(yè):半導(dǎo)體制造工藝(后端工藝)
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CKD喜開理 流量傳感器?控制器
這是一款用于壓縮空氣和氮?dú)獾某⌒土髁總鞲衅鳌?/span>
由于其重量輕和響應(yīng)速度快,因此非常適合檢查電子元件的吸附情況。
工業(yè):半導(dǎo)體制造工藝(后端工藝)
流量傳感器和控制器
CKD喜開理 流量傳感器?控制器
用于氣體 Rapi Flow® 的微型流量傳感器
[超小型輕量] (FSM-X系列) 通過(guò)分離傳感器頭實(shí)現(xiàn)超小型化
。
與常規(guī)體積相比,它比常規(guī)體積小 52%,而且重量輕,4G 最薄,為 8 毫米。
有兩種類型的產(chǎn)品陣容:?jiǎn)蝹€(gè)傳感器頭和流路塊。
[非線性特性] (FSM-X系列)模擬
輸出是非線性的,因此在低流量范圍內(nèi)的分辨率得到了提高。
[高速響應(yīng)] (FSM-V 和 FSM-X 系列) 5 ms 的高速
響應(yīng)實(shí)現(xiàn)了原本被放棄的設(shè)計(jì)
[雙面測(cè)量] (FSM-V / FSM-X 系列) 由于
可以進(jìn)行雙向測(cè)量,因此非常適合吸附確認(rèn)應(yīng)用。
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